Бесконтактная гравировка

При гравировке графена было достигнуто разрешение 10 нм. Графен – слой атомов углерода, соединённых в гексагональную двумерную кристаллическую решётку, подобный одной плоскости графита, отделённой от объёмного кристалла. Графен применяется при изготовлении электронных устройств от транзисторов до детекторов одиночных молекул.

Ранее изготавливались изделия из графеновых нанолент или квантовых точек при помощи электронно-лучевой литографии с реактивным ионным травлением, что нередко приводило к повреждению материала или вызывало появление хлопьевидных образований нерегулярной формы. Однако, подходящее решение было наконец найдено.Ученые использовали гелиевый ионный микроскоп в качестве литографического инструмента для гравирования наноструктур в графене. Пучок ионов гелия имеет субнанометровое поперечное сечение, что обеспечивает разрешение в изображении порядка 0,5 нм или выше, а это превосходный результат для прецизионной литографии. Еще одно достоинство метода – бесконтактность.

На данный момент эта технология является единственным прямым методом модификации одиночных слоев атомарной толщины без существенного повреждения областей материала, окружающих зону обработки.