Принцип действия микроэлектромеханических преобразователей вибрации переменной ёмкости основан на использовании МЭМС-технологии (микроэлектромеханические системы) - это устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. Такой датчик представляет собой модуль, объединяющий в своей конструкции жёсткий корпус с заключённым внутри него чувствительным элементом и электронной схемой. Чувствительный элемент является составной частью конденсатора переменной ёмкости, который под воздействием измеряемого ускорения изменяет своё положение в пространстве, изменяя тем самым ёмкость конденсатора.
Одним из преимуществ данного типа акселерометров является возможность измерения частот в диапазоне от 0 Гц.
"
