Излучатель азотного лазера ИЛГИ-503 с длиной волны излучения 0,337 мкм предназначен для использования в лазерных технологических системах, применяемых в области микроэлектроники, включая процессы подгонки тонкопленочных резисторов в установках типа АМЦ, функционирующих на базе лазера ЛГИ-503. Основные компоненты излучателя включают активный элемент и оптический резонатор, оснащенный механизмом юстировки зеркал.
Основные технические характеристики:
-
Средняя выходная мощность не менее 3 мВт.
-
Частота следования импульсов составляет 100 имп/с.
-
Энергия импульса излучения не менее 30 мкДж.
-
Угловая расходимость излучения составляет 3×10⁻³ рад.
-
Длительность импульса излучения составляет 10 нс.
-
Диаметр пучка излучения не превышает 3 мм.
-
Средняя выходная мощность к концу минимального ресурса составляет не менее 2 мВт.
-
Ресурс наработки не превышает 2000 часов.
-
По степени генерируемого излучения относится к 4-му классу.
