Назначение оборудования
Данное оборудование предназначено для высокоточного двустороннего шлифования кремниевых пластин, пластин арсенида галлия, керамических чипов, кварцевых кристаллов, оптического и электрического стекла, а также других жестких и хрупких материалов.
Технические параметры
-
Размер верхнего шлифовального круга: 1572 мм × 572 мм × 70 мм (материал - чугун).
-
Параметры кассеты: метрическая система, Z = 152, M = 4, a = 20°.
-
Количество кассет: 5 штук.
-
Минимальная толщина шлифования: 0,5 мм для пластин диаметром 200 мм, 0,4 мм для пластин диаметром 150 мм.
-
Максимальная толщина шлифования: 30 мм.
-
Максимальный диаметр шлифования: 500 мм.
-
Мощность двигателя нижнего колеса: 18,5 кВт, класс 4, напряжение AC 380 В.
-
Мощность двигателя верхнего колеса: 11 кВт, класс 4, напряжение AC 380 В.
-
Мощность солнечного двигателя: 1,5 кВт, класс 4, напряжение AC 380 В.
-
Мощность двигателя обода: 4 кВт, класс 4, напряжение AC 380 В.
-
Рабочее давление газа: 0,6-0,7 МПа.
-
Портальная дистанция отступления: 800 мм.
-
Габаритные размеры: 3260 мм × 2400 мм × 3000 мм.
-
Вес: около 18000 кг.
Точность основного станка
-
Концевое биение нижнего шлифовального круга: 0,02 мм.
-
Ровность верхнего и нижнего шлифовальных кругов: 0,012 мм.
-
Радиальное биение солнечного колеса: 0,15 мм.
-
Радиальное биение зубчатого венца: 0,20 мм.
Точность обработки (после корректировки)
-
Однородность: 0,008 мм.
-
Плоскостность: 0,005 мм.
-
Параллельность: 0,006 мм.
Обрабатываемость
-
Несущая способность на единицу площади: 8 шт./F150 мм, 5 шт./F200 мм.
-
Грузоподъемность на весь шлифовальный круг: 40 шт./F100 мм, 25 шт./F125 мм.
Производитель: Общество с ограниченной ответственностью «Аньхэ» (Корпорация Хэжуйт). Тип оборудования: внутришлифовальный.
