Полировальный станок марки X62 930B2M-9PT

Назначение оборудования
Данный станок в основном используется для двухсторонней полировки и обработки высокой точности на полупроводниках химического компаунда (арсенид калия, ниобная кислота лития, ниобная кислота тантала и другие), монокристалл кремния, оптические стекла и электрические материалы, также предназначен для двухсторонней точной полировки и точной обработки плоскопараллельных материалов размером менее 4" (F100mm) и других различных материалов одинакового размера.
Основные параметры оборудования
1. Размер верхнего и нижнего круга полировки: F 933ммxF515mmx50мм.
2. Параметры кассеты: дюйм, Z = 108 DP12 a = 20 °.
3. Минимальная толщина полировки: 0,2 мм
4. Максимальное количество для установки кассеты: 9 шт.
5. диаметр полировки и несущая способность: F75 мм/4 шт. F100 мм/2 шт.
6. Максимальный диаметр полировки: F180mm.
7. Скорость нижнего круга - 0-60об/мин.
8. Давление источника газа: 0.5-0.6MPa.
9. Главный двигатель: 7.5kW AC380 1460 об/мин
10. Солнечный двигатель: 1,5 кВт AC380 1400 об/мин.
11. Габаритный размер: 1200ммx1600ммx2700мм.
12. Вес оборудования: около 3000 кг.
Общие технические требования к оборудованию:
1. Плоскость нижнего круга меньше 0,02 мм.
2. Концевой разбег нижнего круга менее 0,06 мм.