Назначение оборудования
Данное оборудование предназначено для обработки кремниевых пластин диаметром 12 дюймов и менее, включая двухстороннюю полировку кремниевых кристаллов жестких дисков, керамических пластин и других твердых и хрупких материалов.
Технические параметры
-
Размер полировального круга: 1420 мм x 430 мм.
-
Параметры кассеты: количество зубьев (Z) = 105, шаг зубьев (P) = 15,7 мм.
-
Количество кассет: 5 штук.
-
Скорость вращения нижнего полировального круга: от 0 до 70 об/мин.
-
Скорость вращения верхнего полировального круга: от 0 до 60 об/мин.
-
Скорость промежуточной передачи: от 0 до 26 об/мин.
-
Скорость вращения солнечного колеса: от 0 до 26 об/мин.
-
Точность регулирования скорости: ± 0,1 об/мин.
-
Максимальная температура полировального круга: от 20 до 45 °C.
-
Точность регулирования температуры полировального круга: ± 1 °C.
-
Расход полировальной жидкости: от 0 до 10 л/мин, точность регулирования: ± 0,1 л/мин.
-
Ход движения верхнего полировального круга: 450 мм.
-
Остаточная толщина кремниевой пластины после обработки методом GBIR: (до полировки GBIR: 2 мкм, удаляемый слой: 10-40 мкм) ≥ 0,6 мкм.
-
Характеристики обработанной поверхности SFQR (размер ячейки 25x25 мм, PUA 95% (большая)): ≥ 0,07 мкм, EE = 2 мм, кремниевая пластина.
-
Уровень загрязнения поверхности металла: ≤ 1,00E + 10 ат/см².
-
Среднее время безотказной работы оборудования (uptime): ≥ 90%.
-
Среднее время безотказной работы (MTBF): ≥ 1200 часов.
-
Среднее время восстановления (MTTR): ≤ 4 часов.
Оборудование способно соответствовать требованиям двухсторонней полировки кремниевых пластин диаметром до 300 мм для интегральных схем с технологическими нормами 90-65 нм.
Производитель
Общество с ограниченной ответственностью "Аньхэ" (Корпорация Хэжуйт).
