Двухсторонний точный полировальный станок марки X62 1420B4M-5PT-P

Назначение оборудования
Это оборудование в основном используется для обработки кремниевых пластин размером 12» и менее 12», а также используется для двухсторонней полировки кремниевого кристалла жесткого диска, керамических пластин и других жестких и хрупких материалов.
Технические параметры
1. Размер круга полировки: F1420 ммxF430mm.
2. Параметры кассеты: количество зубьев Z = 105 расстояние зубьев P = 15,7.
3. Количество кассеты: 5 шт.
4. Скорость вращения нижнего полировального круга: 0-70об/мин
5. Скорость верхнего полировального круга - 0-60об/мин.
6. Скорость крайней передачи - 0-26 об/мин.
7. Скорость вращения солнечного колеса: 0-26 об/мин.
8. Точность регулирования скорости: ± 0,1 об/мин
9. Большая температура круга: 20-45 градусов;.
10. Точность регулирования температуры в большом круге: ± 1 градус.
11. Расход полировальной жидкости: 0-10L/min; точность регулирования ± 0,1 л/мин;.
12. Ход верхнего круга полировки: 450 мм
13. После обработки кремниевой пластины GBIR: (перед полировкой GBIR &# 65308; 2 &# 956; m, количество для удаления составляет 10-40 &# 956; m) &# 8804; 0.6 &# 956; м.
14. После обработки SFQR &# 65288; размер соты 25x25 &# 65289; PUA95% (большой) &# 8804; 0.07 &# 956; m &# 65288; EE = 2 мм &# 65289; кремниевая пластина.
15. Загрязнение металла в поверхности: &# 8804; 1.00E + 10ат/см2.
16. Среднее время работы без неисправностей оборудования &# 65288; uptime &# 65289; &# 65306; &# 8805; 90%.
17. MTBF: &# 65310; 1200 часов.
18. Среднее время ремонта оборудования &# 65288; MTTR &# 65289;: &# 65308; 4 часа.
Возможно соответствие требованиям двухсторонней полировки 300 мм кремниевой пластины для интегральной схемы 90-65 нм.