Полировальный станок марки X62 1300B-1

&# 8544; Назначение оборудования
Этот станок в основном предназначен для двухсторонней полировки пластины кремния высокой точности, пластины арсенида галлия, керамической пластины, кварцевого кристалла, оптического стекла и других жестких хрупких материалов.
Технические параметры
1. Размер круга полировки: метрический, F 1313 ммxF757mmx50 мм; дюйм, F1317mmxF757mmx50 мм.
2. Параметры кассеты: метрическая, число зубьев Z = 100, число модулей M = 3; дюйм, число зубьев Z = 144, число модулей DP12.
3. Количество кассет: 10 шт.
4. Минимальная толщина полировки: 0,30 мм.
5. Максимальная толщина полировки: 30 м.
6. Скорость вращения нижнего полировального колеса: 0-60об/мин.
7. Приводной двигатель верхнего и нижнего полировальных колес: 7.5/15kW AC380V 1460 об/мин.
8. Двигатель привода обода: 4 кВт AC380V 1420 об/мин.
9. Двигатель с солнечным приводом: 2.2kW AC380V 1410 об/мин.
10. Источник газа: 0,5-; 0.6MPa.
11. Размер: 2328 ммx1608 ммx3190 мм.
12. Вес оборудования: около 7700 кг.
&# 8546; Показатели точности
(1) Точность основной машины
1. Торцевое биение нижнего полировального круга: 0,04 мм
2. Плоскостность верхнего и нижнего полировального круга: 0,015 мм
3. Радиальное биение солнечного колеса: 0,08 мм
4. Биение радиального обода: 0,15 мм
(2) Точность обработки (после коррекции четырех корректирующих колес)
1. Однородность: 0,008 мм;
2. Плоскостность: 0,004 мм;
3. Параллельность: 0,005 мм.