Полировальный станок марки X62 1355B3M-9PT

Назначение оборудования
Этот станок в основном предназначен для двухсторонней прецизионной полировки кремниевых пластин размером менее 6 дюймов, а также предназначен для двухсторонней полировки кварцевых кристаллов, каменных пластин, стекла, керамических пластин и других жестких и хрупких материалов.
Основные технические параметры
1. Шлифовальное колесо size:F1380mmxF767mmx50мм.
2. Параметры кассеты: Z = 162 DP12 a = 20 °.
3. Номер кассеты: 9 шт.
4. Максимальный диаметр полировки: F300mm.
5. Минимальный диаметр полировки: 0,50 мм
6. Максимальная толщина полировки: 30 мм.
7 .Кратная частота вращения нижнего шлифовального круга: 0-60 об/мин.
8. Основной двигатель: 18.5kW 380V 1450 об/мин.
9. Электродвигатель солнечного колеса: 2.2kW 380V 1440 об/мин.
10. Электродвигатель внутреннего кольца: 5.5kW 380V 1440 об/мин.
11. Источник газа - 0,5 ~ 0.6MPa.
12. Размер: 2650ммx1920ммx2770мм.
13. Вес оборудования: около 7700 кг.
Точность основной машины
1. Концевой ход нижнего полировального круга: 0,08 мм
2. Плоскостность верхнего и нижнего полировального круга: 0,02 мм
3. Радиальное биение солнечного колеса: 0,10мм
4. Биение радиального обода: 0,18 мм
Точность обработки (после коррекции четырех корректирующих колес)
1. Однородность: 0,008 мм;
2. Плоскостность: 0,004 мм;
3. Параллельность: 0,006 мм.